电子元器件抽真空电子元器件抽真空设备蚀刻机
发布时间:2023-01-17 10:32:04
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电子元器件抽真空设备
一种电子元器件专用检漏设备的制作方法。18778038发布日期::54阅读:281来源:国知局。本实用新型涉及密封检测技术领域,具体为一种电子元器件专用检漏设备。目前市场中的电子元器件密封检测设备功能单一,检测范围窄,并且都是手动设备,自动化程度不高,检测效率低,本实用新型解决了以上缺点问题。本实用新型所解决的技术问题在于提供一种电子元器件专用检漏设备,以解决上述背景技术中提出的问题。
所述氦质谱检漏系统与氦检漏罐中间通过管道连接,管道上设有氦检漏阀。控制系统与显示系统、轻氟油加压系统、重氟油检测系统以及氦质谱检漏系统均为双向连接。图1为本实用新型的结构示意图。各标号所代表的部件名称如下:。为了使本实用新型的实现技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体图示,进一步阐述本实用新型。
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